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基礎と薄膜・コーティング技術への応用スパタリング現象

スパタリング現象 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

A5判 244ページ
価格：3,520円 (消費税：320円)
ISBN978-4-13-061047-6(4-13-061047-3) C305
奥付の初版発行年月：1984年03月

内容紹介

〔目次〕　１序論，２スパタリング現象の特徴，３スパタリングの理論，４特殊なスパタリング現象，５スパタリング法による薄膜作製装置，６スパタリングでつくられた薄膜の特徴，７スパタリング薄膜の応用，各章文献，索引．



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