物理工学実験
薄膜の基本技術 第2版
A5判 172ページ
価格:2,640円 (消費税:240円)
ISBN978-4-13-063041-2(4-13-063041-5) C335
奥付の初版発行年月:1987年09月
価格:2,640円 (消費税:240円)
ISBN978-4-13-063041-2(4-13-063041-5) C335
奥付の初版発行年月:1987年09月
内容紹介
薄膜を初めて作る人のために書かれた入門書.真空蒸着法,スパタリング法,プラズマプロセスによる薄膜作製技術が詳細に解説され,また初心者に必要な基礎知識が分かりやすく書かれている.旧版発行後10年間の進展を新たに記述し,全面的に改訂している.