内容紹介
カーボンナノチューブや青色発光ダイオードなど，いま話題の製品の材料は薄膜製作技術の成果である．現代の最先端技術を支える材料，薄膜の作り方や物性の測定などを基本から学べる定番テキスト．好評を博した第２版を全面改訂，演習問題も付加する．
目次
はじめに
１ 真空装置の基本
２ 真空蒸着法
３ スパッタリング法
４ 膜厚測定法
５ 関連技術
おわりに
カーボンナノチューブや青色発光ダイオードなど，いま話題の製品の材料は薄膜製作技術の成果である．現代の最先端技術を支える材料，薄膜の作り方や物性の測定などを基本から学べる定番テキスト．好評を博した第２版を全面改訂，演習問題も付加する．
はじめに
１ 真空装置の基本
２ 真空蒸着法
３ スパッタリング法
４ 膜厚測定法
５ 関連技術
おわりに