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サブミクロン素子への展開微細加工

微細加工 サブミクロン素子への展開

A5判 250ページ 並製
価格：2,970円 (消費税：270円)
ISBN978-4-501-31330-2(4-501-31330-7) C3055
奥付の初版発行年月：1989年03月 ／ 発売日：1989年03月中旬

内容紹介

　微細加工の歴史的な経緯およびその技術を解説。半導体プロセス，製造装置に関する入門書


目次

1　まえがき
2　微細加工の歴史
3　微細加工
4　半導体の微細加工
5　微細加工の発達
6　成膜技術
7　大規模集積回路の作成法
8　集積回路の設計
9　微細加工の限界


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